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光リソグラフィー装置
デバイス開発
設備ID： 14143
設置場所
VBL棟 2F 2103室
型番
メーカー
MIKASA
メーカー公式ページ
導入年月日
2004/03/10
概要
【キーワード】表面構造解析
仕様
利用対象者
学内限定
利用料金 (学外)
利用マニュアル (学外)
学外向けお知らせ
鳥取
