波長可変エリプソメータ
デバイス開発
設備ID： 972
- 設置場所 工学部 J棟 1F 7157室
- 型番 M-550
- メーカー JASCO
- メーカー公式ページ http://www.jasco.co.jp/jpn/
- 導入年月日 2004/3/15
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概要
光学測定なので非破壊で測定が可能な上、測定時間が短くて済むので、できた薄膜の評価だけではなく、作製途中の薄膜のプロセス評価（In-situ測定）が可能です。 あてる光の波長を選ぶことによって、光学定数や膜厚以外にも、反射率、透過率、バンド構造の評価、キャリヤー密度などの評価を行うことも可能です。
【キーワード】微細構造解析 - 仕様
- 利用対象者 学内限定
- 利用料金 (学外)
- 利用マニュアル (学外)
- 学外向けお知らせ