複合機能付電界放出型走査電子顕微鏡（SEM）
顕微鏡
設備ID： 14385
- 設置場所 工学部 K棟 1F 共通分析室耐重量物床分析室(7157室)
- 型番 S-4800
- メーカー 日立ハイテクサイエンス
- メーカー公式ページ http://www.hitachi-hitec.com/news_events/product/2002/nr020218.html
- 導入年月日 2010/03/26
- 概要 数ナノメートルの分解能で微小領域の 2次電子像を観察可能である。 EDX、 CL、EBICといった分析機能も備えており、2次電子像を取得すると同時に観察領域の組成分析、 欠陥解析、 吸収電流測定等を 行うことが可能である。 更に、 STEM機も 備えており、試料を薄く形成すれば透過電子像の観察も可能である。
- 仕様
- 利用対象者 学内限定
- 利用料金 (学外)
- 利用マニュアル (学外)
- 学外向けお知らせ